Промышленное производство карбида кремния может осуществляться в подвижных или стационарных электропечах сопротив-

ления. В отечественной практике применяются подвижные электропечи мощностью до 5000 кВ-А, обеспечивающие высокий уровень механизации технологического процесса.

На рис. 3.9 показано устройство подвижной электропечи мощностью 3,5 кВ-А. Технологический процесс производства карбида кремния можно разделить на следующие этапы (рис. 3.10): подготовка исходных материалов и шихты, загрузка печи, электротермический передел (плавка), охлаждение печи, разборка печи, охлаждение блока, сортировка блока.

Подготовка шихты предусматривает дробление, грохочение и рассев сырьевых материалов, опробование и дозирование компонентов шихты в загрузочные бункера соответствующего отделения.

Шихта для получения черного карбида кремния состоит из кварцевого сырья, возвратной шихты, аморфа, нефтяного кокса и древесных опилок. В шихту для получения зеленого карбида кремния дополнительно вводят поваренную соль. Поваренная соль осуществляет вывод алюминия из зоны реакции за счет образования летучих хлоридов последнего, при этом присутствие поваренной соли в шихте приводит к увеличению тепловых потерь и возрастанию расхода электроэнергии на 10—15 % по сравнению с производством черного карбида кремния. В шихту вводят 1 — 2 % поваренной соли (ориентировочно на каждую десятую долю процента окиси алюминия в'шихте).

Древесные опилки являются основным порообразующим компонентом, используемым для придания шихте газопроницаемости, недостаток их в шихте приводит к нарастанию давления внутри печи и образованию факелов — интенсивного выделения раскаленных газов, состоящих из окиси углерода и паров кремнезема.